清華紫光南方產業化基地總建筑面積約83299.77平方米，建筑總高49.9米。其中地上建筑面積約59916.54平方米，地下建筑面積約22401.0平方米。由1#塔樓、2#塔樓、3#塔樓、4#翼樓、5#翼樓及其連成一體的半地下室、地下室組成。地上部分的主要功能是科研辦公；半地下室為汽車停車庫；地下一層為汽車停車庫和設備用房。